3、吸附性：

　　由于水分等雜質是極性分子，吸附性很強。橡膠、塑料或一些表面粗糙的材料易吸附水分等雜質，銅材對水吸附能力強，使用這些材料輸送高純氣體易被污染，除了輸送ppm級以下的氧氣會使用紫銅管外，高純氣體不采用銅管和塑料管，氣體會接觸到的墊片、填料也不得采用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。

　　4、表面粗糙度：

　　為了保障輸送氣體的純度，要求管道材料內表面有一個高的光潔度，這樣可以減少污染粒子及濕氣在管壁滯留，可以在吹掃時比較容易吹凈。管材比較光潔而且耐磨，可以在氣流高速沖刷下，產(chǎn)生的金屬粒子就少，不銹鋼比銅管產(chǎn)生粒子要少，所以不銹鋼管耐磨性比鋼管要好。

　　5、抗腐蝕性：

　　微電子生產(chǎn)中，經(jīng)常使用一些腐蝕性很強的氣體，比如高純氣體，這時采用耐腐蝕的管材，否則管道會被腐蝕，輕則表面產(chǎn)生銹斑，重則管道大面積剝落、穿孔，不但污染氣體，還會發(fā)生事故。

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